Beschaffung eines Substrathandlers für die Ionenstrahlanlage RIBF1000

Bau und Lieferung der Anlage erhielt die Fa. Scia systems. Bei der Anlage handelt es sich um ein neu zu konstruierendes System, d.h. eine Sonderausführung, das in dieser Form bisher nicht als serienmäßiges Produkt angeboten wird. Im Zuge der Konstruktion der Anlage (v.a. Sonderausführung des Bewe

gungssystems, Carrier-Haltesystem) hat sich ergeben, dass die Beladung mit Substraten mit geometrischen Dimensionen von 1000 mm x 1000 mm x 300 mm und einer Masse von 300 kg + 200 kg Carrier nur mit einem speziell ausgelegten Substrathandle