Kauf, Lieferung und Installation eines Automatisierten Arbeitsplatzes zum Beschichten mittels Spincoating und Charakterisierung der aufgetragenen Schichtdicke

is zu 200µm automatisiert hergestellt und vermessen werden. Zum geplanten Gesamtablauf des Coatings soll das Beschichten mittels Spincoater (incl. Pipettierung) sowie die automatische Bestimmung der Schichtdicken gehören. Ferner soll die Möglichkeit bestehen den Aufbau durch weitere Komponenten (z.

B. Bladecoater, oder Heizung etc.) zukünftig modular erweitern zu können. Der Gesamtaufbau muss innerhalb einer Glovebox Labmaster der Firma mBraun aufgebaut werden, wodurch sich die maximalen Abmaße als Grundfläche für den Gesamtaufbau vo