»Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)
Tender information
DE_BKMSMünchen, Germany
- Type
- services (award)
- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- 4bcc92a5-43b7-44a6-b07a-0a126249674a
- CPV
- 73100000
Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUV-Bestrahlung (LAB-MEMS)