Auswertetechnik Wafer-Prober

räten, die Prüfung der elektrischen Zuverlässigkeit und spezielle Produktionsanwendungen optimiert und ermöglicht präzise elektrische Messungen über extrem rauscharme, Gleichstrom-, HF-, mmW- und THz-Frequenzen. Auf diese Voraussetzungen muss die Auswertetechnik angepasst sein.

Gegenstand dieses Verfahrens ist eine elektrische Auswertetechnik für einen vollautomatischen 200-mm-Wafer-Prober, der für den Dauerbetrieb ausgelegt ist. Der verwendete Wafer Prober ist für die Charakterisierung von Ge