Ionenstrahlätzanlage
Tender information
DE_BKMSJena, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 4a54e946-f7d6-40bc-84d8-ac6be6379202
- Estimated value
- 1,189,000 EUR
- CPV
- 38000000
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf u…