ICP-Ätzanlage
Deadline:16 Jan 2025, 12:00 CET
Tender information
DE_BKMSPaderborn, Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- b95f149b-72c6-456e-bbf5-cffc9a5d1ee1
- CPV
- 38970000
Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität…