Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)
Tender information
DE_BKMSMünchen, Germany
- Type
- services
- Ref. number
- a0a8563f-b2f3-428f-bc82-46774a742c8e
Studie zur Entwicklung von hochauflösenden optischen Messsystemen für ein stellbare Facettenspiegel unter EUVBestrahlung (LAB-MEMS)