Reactive ion etcher
Tender information
DE_BKMSHamburg, Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Restricted
- Ref. number
- ecc46548-b975-4117-8f55-7acabc5d6c64
- CPV
- 31712000
Herstellung, Vertrieb und Service von Plasmaätzanlagen (RIE/ICP-RIE) für die Mikro- und Nanofabrikation. Genaueres entnehmen Sie bitte aus dem Lastenheft.