Dual Beam
Tender information
DE_BKMSLeipzig, Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
- Ref. number
- 9bbdb3d0-3e9e-4e06-bb8e-8b0ce6808069
- Estimated value
- 2,352,941 EUR
- CPV
- 38000000
Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm…