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- award
- Procedure
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- Ref. number
- 3dd0cfb7-2caa-4b12-b65c-6b94bbc04b2a
- CPV
- 38000000
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung…
des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Die Prozesskette umfasst unte
r anderem die Strukturierung von Glassubstraten mit bis zu 150 mm Durchmesser mittel laserinduzierter Ätzung.
Zu liefern ist insofern eine Anlage zur Strukturierung transparenter Substrate, wie z.B. Glaswafer, mittel selektiver laserinduzie