MPI für Mikrostrukturphysik, Erweiterung Institut: Reinstwasser

on, Doppelenthärtungsanlage (1m³/h) mit Solebehälter, Umkehrosmoseanlage (0,75m³/h) mit Membranentgasung, VE-Wassertank 5m³, VE-Wasser Vorlauf redundante (2x100%) Pumpen (2x 2m³/h und 2x5m³/h), VE-Wasser Rücklauf UV-Entkeimung (2x1m³) und Wärmetauscher (2x1m³), Umkehrosmose (0,2m³/h) mit redundante

r (2x50%) EDI, Reinstwassertanks (2m³) mit Stickstoffüberschleierung. Reinstwasservorlauf mit redundanten (2x100%) Pumpen (2x9,5m³/h) UV-Desinfektion(9,5m³/h), Wärmetauscher (9,5 m³/h), Polisher mit TOC-freien Harz (9,5m³/h), Ultrafiltratio