Zusatzkammer f. PVD-Sputteranlage SPUc02-01

ntereinander verknüpft. Daher ist es nicht möglich eine Einzelkammer eines anderen Anbieters in die Clusteranlage von Applied Materials zu integrieren. Die Systeme sind hardware- und softwareseitig nicht kompatibel, da die physisch-technischen Schnittstellen nicht baugleich sind und die AMAT-spezif

ische Software durch Fremdsoftware nicht erweiterbar ist. Die ursprüngliche Funktionalität und ein fehlerfreier Betrieb sind nicht gegeben. Die Implementierung einer Prozesskammern eines anderen Herstellers würde die gesamte Funktionalität