Ein Rasterelektronenmikroskop nutzt einen Elektronenstrahl, der ein vergrößert abzubildendes Objekt abrastert und Wechselwirkungen der Elektronen zur Bilderzeugung nutzt. Die Auflösung übersteigt die eines Mikroskops um …
mehrere Größenordnungen, im vorliegenden Fall ist sie bis 5 nm möglich. Benchtop-Geräte sind erheblich kleinere und billigere Geräte im Vergleich zu ?klassischen? REMs, die auch im Funktionsumfang reduziert sind. Jedoch auch in der Handhabung einfacher zu bedienen sind. In Kombination mit einem EDX
ist mit einem REM auch eine lokal aufgelöste Elementanalyse möglich. Die Detektion erfolgt entweder über Sekundärelektronen (SE), was eine sehr hohe Auflösung ermöglicht, oder über Rückstreuelektronen (BE), was Rückschlüsse auf die Dichte z