- Type
- award
- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- e4eb8332-3b92-44a1-84cf-4623b5a753b9
- CPV
- 42990000
Hierbei handelt es sich um "spezielles" Vakuumzubehör (Vakuumessgeräte und Vakuumpumpen) für unser Beschichtungszentrum (--> hierbei handelt es sich um die drei vorhandene (U)HV-transferkompatiblen PVD-Abscheideranlagen …
der Firma Fa. Leybold GmbH) innerhalb des INCYTE Reinraums. Es handelt sich um folgendes Zubehör:
3 Stück Leybold ECODRY 65 plus Wälzkolbenpumpe
• Trocken verdichtend, Abriebfreies Pumpprinzip, Manuell zuschaltbarer Gasballast zum Pumpen von Wasserdampf, Integriertes Rückschlagventil im Auspuff
• M
ax. Saugvermögen ohne Gasballast: 55 m³/h
• Enddruck ohne Gasballast: 3 x 10-2 mbar
• Leckrate: < 1E-5 mbar l/s
• Wasserdampfkapazität (mit Gasballast): 500 g/h
• Schalldruckpegel bei Enddruck: 52 dB(A)
• Schutzart: IP 42
• Ansaugflansch: D