Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems
Tender information
DE_BKMSLeipzig, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 1379c82f-26dd-408b-b60b-6d771b3f7986
- CPV
- 38000000
Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren…