- Type
- award
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 89d2925d-525b-43e7-86f3-c3895e22a9df
- Estimated value
- 324,794 EUR
- CPV
- 38000000
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt, für Forschungszwecke einen (1) vielseitigen und benutzerfreundlichen
Elektronenstrahlverdampfer anzuschaffen, welcher die Herstellung von Dünnschichten mit höchster …
Flexibilität hinsichtlich der verwendbaren Materialien, Materialqualität und Präzision ermöglicht. Das System soll in erster Linie zur Herstellung photonischer und plasmonischer Nanostrukturen wie z.B. Metamaterialien und -oberflächen, Nanoantennen und photonischer Kristalle eingesetzt werden. Dies
soll einerseits durch Elektronenstrahlverdampfung in Kombination mit Elektronenstrahl-lithographie und einem Lift-Off Prozess und andererseits durch die Herstellung von funktionellen Substraten und Mehrschichtsystemen für optische Nano- und