- Type
- award
- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- b76c4b19-9683-4d27-b345-e2d892a89f4b
- CPV
- 38000000
Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung…
des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft.
Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist insofern die Beschaffung von 5 Digestorien (Nassbänken) für eine klassische Mikrostru
kturierungsprozesskette für den Reinraum. Die Prozesskette umfasst unter anderem Reinigung, Belackung, Belichtung und Entwicklung von Halbleitersubstraten mit einem maximalen Durchmesser von 150mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die sp