Maskenlose Lithographie
Tender information
DE_BKMSGarching b. München, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- 61fb1632-531f-40b2-a750-f5538acf432f
- Estimated value
- 440,000 EUR
- CPV
- 38000000
Lithographiegerät für maskenlose submikrometer Strukturierung von photoempfindlichen Polymeren