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Tabletop Lithografie Direktschreib-Systems mit sub-?m Auflösung

Tender information

DE_BKMS

Germany

Type
award
Ref. number
22148354
CPV
31640000

Beschaffung eines präzisen Lithografie Direktschreib-Systems geeignet für Substraten mit unterschiedlichen Größen bestehend aus einem Laser-Modul mit <= 400 nm Auflösung, eine Direktschreiboption zum Schnellschreiben grö

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