Tabletop Lithografie Direktschreib-Systems mit sub-?m Auflösung
Tender information
DE_BKMSGermany
- Type
- award
- Ref. number
- 22148354
- CPV
- 31640000
Beschaffung eines präzisen Lithografie Direktschreib-Systems geeignet für Substraten mit unterschiedlichen Größen bestehend aus einem Laser-Modul mit <= 400 nm Auflösung, eine Direktschreiboption zum Schnellschreiben grö…