Waferreinigungschemikalien

Elektronikkomponenten, Mikro- und Nanosensoren und -aktoren mit Schnittstellen zur Kommunikation. Fraunhofer ENAS entwickelt Einzelkomponenten, die Technologien für deren Fertigung aber auch Systemkonzepte und Systemintegrationstechnologien und überführt sie in die praktische Nutzung. Für die Wafer

reinigung sollen verschiedene Chemikalien beschafft werden. Waferreinigungschemikalien