Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken(Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter für bestehende 2-Photonenlithografieanlage

e 2-Photonenlithografieanlage „Quantum X shape“ (Fa. Nanoscribe) gemäß den Anforderungen der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 der Vergabeunterlagen).

Gegenstand des Auftrags ist die Lieferung von Zusatzkomponenten zur Einmessung von Justagemarken (Software) und zur Erzeugung mesoskaliger Strukturen, sowie flexibel einsetzbarer Substrathalter, passend für die bestehend