Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 4: Optische Tische, Teillos 2: Aktiv-schwingungsisolierter optischer Tisch

, Software und schwingungsdämpfende Tische beschafft werden. Das Weißlichtinterferometersystem (Fachlos 1) und das konfokale Laserscanningmikroskop (Fachlos 2) werden als Komplettsystem ausgeschrieben. Die technischen Anforderungen an das Weitfeldmikroskop (Fachlos 3) können nach intensiver Markterk

undung nur durch einen Eigenbau der Arbeitsgruppe "Physik und Angewandte Lasertechnik" erfüllt werden, was eine Aufteilung in Teillose notwendig macht. Übersicht der Lose: Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Fachlos 2: Konfokales 3