eBeam-Tool zur halbautomatischen elektronenstrahllithographischen Bearbeitung von belackten Wafern. - PR619412-2270-W
Tender information
DE_BKMSMünchen, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 812587b2-8bef-4072-b267-338436026d2d
- CPV
- 42990000
PR619412-2270-W eBeam-Tool zur halbautomatischen elektronenstrahllithographischen Bearbeitung von belackten Wafern.