Lift-Off-Prozesmodul
Tender information
DE_BKMSBerlin, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 1742409b-3b83-4088-8533-4fd608643d62
- CPV
- 38000000
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und a…