Elektronenstrahllithographiesystem
Tender information
DE_BKMSKonstanz, Germany
- Type
- award
- Procedure
- Negotiated without prior call for competition
- Ref. number
- ad086369-f77d-466d-9ae1-a2e91c52cb8f
- CPV
- 38000000
Lieferleistung eines Elektronenstrahllithographiesystems mit laserinterferometrisch gesteuertem Probentisch