Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Tender information
DE_BKMSFrankfurt (Oder), Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
- Ref. number
- 093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c
- CPV
- 42990000
Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesonder…