Ionenstrahlsputteranlage

nd quantenoptische Bauteile und findet ihren Platz im Reinraum der Universität Paderborn. Das System ermöglicht die Herstellung von mindestens vier unterschiedlichen, untereinander mischbaren dielektrischen Schichtmaterialien mittels sputtern oder besser reaktiven sputtern. Die prozessbegleitende Ko

ntrolle der aufgebrachten Schichten erfolgt mittels eines breitbandigen optischen Messsystems direkt auf der Probe oder auf einem Referenzstück neben ihr. Ein Loadlock-System erlaubt das Ein- und Ausschleusen von Proben bis zu einer Größe v