System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS
Deadline:09 Feb 2024, 12:00 CET
Tender information
DE_BKMSFrankfurt (Oder), Germany
- Type
- goods (tender)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 00ccfc50-6a92-43fa-ae44-4303d9e286e1
- CPV
- 38000000
System zur Herstellung von thermischen CVD Nitrid-Schichten mittels NH3 und DCS und zur Herstellung von Oxid-Schichten mittels O2 und TEOS