- Type
- tender
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 53cf6174-1541-45bc-a738-de3f7c28c4ae
- CPV
- 38000000
Das FIB-SEM-System vereint eine FIB (focused ion beam)-Einheit und eine SEM (scanning electron microscope)-Einheit in einem Gerät. Die FIB-Einheit wird sowohl zum gezielten Implantieren mit isotopenreinen Ionenarten bzw.…
Beschießen eines (Diamant-) Substrats mit Ionen als auch zur Erzeugung von kleinen Strukturen mit einer Größe im Mikro- bzw. Nanometerbereich an der Oberfläche des Substrats verwendet. Durch die SEM-Einheit können kleinste Oberflächenstrukturen in der Größenordnung von wenigen Nanometern abgebildet
und dadurch charakterisiert werden. Erweitert wird der Funktionsumfang des Geräts durch ein Gas-Injektions-System (GIS) und einen energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDS)-Detektor. Das Gerät wird von einer wechselnden Nutzer-gruppe mi