Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems
Tender information
DE_BKMSLeipzig, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- ec97d38f-b221-4454-993d-67786461145b
- CPV
- 38500000
Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächen-bearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff u…