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Beschaffung einer CMP Anlage

Tender information

DE_BKMS

München, Germany

Type
goods (award)
Procedure
Open
Ref. number
388c824b-6aa5-4b0a-b1df-cef14f17ef32
CPV
31720000

Beschaffung einer chemisch-mechanischen-Polieranlage für Wafer. Die Anlage soll geeignet sein, um Wafer mit verschiedenen topographischen Schichten, wie z.B. Silizium, Siliziumoxid, Wolfram, etc. zu planarisieren und zu

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