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ALD-Anlage

Deadline:11 Aug 2026, 13:00 CEST

Tender information

DE_BKMS

Jena, Germany

Type
goods (tender)
Procedure
Open
Ref. number
22a26e70-1067-4fad-b072-a791fe675075
Estimated value
461,344 EUR
CPV
38000000

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche z

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