UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Tender information

DE_BKMS

Ilmenau, Germany

Type: award
Procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
Ref. number: 3b10ea3c-8f30-442f-a77e-825eb44ffc29
Estimated value: 442,000 EUR
CPV: 38000000

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtun…

g und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.

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