Dual Beam
Tender information
DE_BKMSLeipzig, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
- Ref. number
- 8018d6f5-fcd3-4286-a683-2d995541e947
- Estimated value
- 2,352,941 EUR
- CPV
- 38000000
Leistungsgenstand ist eine Feinstrahlimplantationsanlage zur deterministischen Implantation einzelner Atomen und Fehlstellen in Festkörpern zur Herstellung von Quantensystemen mit einer lateralen Auflösung von unter 5 nm…