Bancs humides manuels en tant que stations chimiques de plateforme

e équipements plateforme pour son Centre de MircoNanoTechnologie (CMi). Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>500 utilisateurs actifs par an). Ce lot de trois statio

ns individuelles sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement comme étapes clés de nettoyage afin d’assurer et/ou de retrouver des propriétés de surface compatibles avec le domaine. U