- Type
- 7
- Procedure
- open
- Ref. number
- 203705-2024
- Estimated value
- 62,475,000 CZK
- CPV
- 31720000
Předmětem veřejné zakázky je elektronový litograf s urychlovacím napětím 100 kV, který slouží k prototypování nanostruktur pro oblast nanověd a nanotechnologií. Urychlovací napětí 100 kV umožňuje přesný zápis vyráběných …
struktur Gaussovským svazkem s rozlišením v řádech jednotek nanometrů při využití běžně dostupných komerčních rezistů pro litografii elektronovým svazkem. Požadované zařízení musí obsahovat plně funkční technologický celek zahrnující kompletní vakuový systém, chladicí systém, stabilní zdroj elektron
ů, elektronový tubus, komoru, interferometrický stolek, více kazetovou zakládací komoru včetně držáků substrátů s různými rozměry, vychylovací systém elektronů, generátor vzorů, kompletní elektronický systém, řídící data stanici s možností