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ALD-Anlage
Deadline:11 Aug 2026, 00:00 CEST
Tender information
TED EUJena, Germany
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 469404-2026
- Estimated value
- 461,344 EUR
- CPV
- 38000000
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche z…