Closed
Elektronenstrahllithografieanlage
Deadline:14 May 2024, 00:00 CEST
Tender information
TED EUPaderborn, Germany
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 220921-2024
- Estimated value
- 2,140,000 EUR
- CPV
- 31712100
Ausgeschrieben wird eine Elektronenstrahllithograffieanlage die ein Kernstück der gruppenübergreifenden Infrastruktur im Reinraum der Universität Paderborn ist. Diese wird zur Entwicklung von waferskaligen Bauelementen b…