Im Rahmen der Quantencomputing Initiative des DLR werden im Innovationszentrum Hamburg in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie un…
d DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung soll eine Lösung zur Aufbereitung der Abluft verschiedener Fertigun
gsprozesse beschafft werden. Dies betrifft unter anderem die Fertigungsanlagen für die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), das reaktive Ionenätzen (RIE) sowie das Gasphasenätzen. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferu