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Fourniture et installation d’un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions

Deadline:29 Jul 2024, 00:00 CEST

Tender information

TED EU

Grenoble, France

Type
16
Procedure
neg-w-call
Ref. number
384219-2024
CPV
31712100

Le CEA Leti souhaite acquérir un équipement automatique pour plaques 200mm de gravure par faisceau d'ions avec une solution de dépôt de silicium nitruré (en option) La chambre de gravure par faisceau d'ions doit pouvoir

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