Micro-Transfer-Printing-System

rchführung von Transferdruckprozessen für mikro- und optoelektronische Bauelemente, Chiplets, Coupons und vergleichbare Mikrostrukturen. Das System muss insbesondere für die heterogene Integration von Halbleiter-, Photonik- und Mikrobauelementen auf Zielsubstraten geeignet sein und sowohl Einzeltran

sferprozesse als auch parallele Mehrfachtransferprozesse unterstützen. Die technischen Leistungsparameter aus Anlage 2 sind mindestens zu erfüllen.