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Laserlithographie
Deadline:03 Aug 2026, 00:00 CEST
Tender information
TED EUKöln, Germany
- Type
- 16
- Procedure
- open
- Ref. number
- 458627-2026
- CPV
- 38000000
Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quan…