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Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung

Deadline:27 Jul 2026, 14:00 CEST

Tender information

DE_BKMS

Germany

Type
tender
Procedure
Public announcement
Ref. number
25581786

Die Beschaffung beinhaltet den Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool mit einer Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern. Es sollen die Gase Ar, N2( 6.0), N2 (5.0), O2, He und Druckluft installie

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