Direktschreiblithographie-System
Tender information
DE_BKMSKöln, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 56f8b93a-447d-4989-80fa-9a43365b7ce5
- CPV
- 38000000
Eine Direktschreiblithographie wird für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung benötigt. Der Betrieb der Direktschreiblithographie muss in einem Reinraum (ISO6) möglich sein un…