maskenloses UV-Direktlithographie-System
Tender information
DE_BKMSJena, Germany
- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- 3cee3fd6-df42-49cb-881c-ae9ed023900f
- CPV
- 38000000
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasiert…