Beschaffung einer vielfältig einsetzbaren Argon-Ionenätzanlage zur REM-Probenpräparation mit Zubehör

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hulexternen MNaF-Nutzern (Forschungseinrichtungen, Industrie) und den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cμ), dem Center for Innovative Materials (