Herstellung, Vertrieb und Service von Rasterelektronenmikroskopen und/oder Elektronenstrahllithographie-Systemen

Es ist beabsichtigt, ein Scanning electron microscopy (SEM) system with integrated elect-ron beam lithography (EBL) zu beschaffen. Nähere Einzelheiten sind den Vergabeunterlagen, insb. Im Lastenheft zu entnehmen.