2x 6-Achsen-Nanopositioniertisch

, θY, θZ) aktiv geregelt betreibbar sein und sowohl über analoge als auch digitale Schnittstellen (z. B. SPI oder äquivalent) ansteuerbar sein. Wesentliche Merkmale sind eine große zentrale Öffnung, vollständige 6-DOF-Regelung, hohe zulässige Kräfte sowie lange, präzise Verfahrwege.

Benötigt werden zwei baugleiche, hochpräzise 6-Achs-Nanopositioniertische mit zentraler freier Apertur zur Positionierung von Proben, Masken oder Substraten. Die Systeme müssen in allen sechs Freiheitsgraden (X, Y, Z, θX