- Type
- goods (award)
- Procedure
- Open
- Ref. number
- d3c465b9-636d-47ad-93c3-b853c65d397f
- CPV
- 38636100
Das SEM_FIB_TOF-SIMS Tool erlaubt alle hergestellten Schichten und Strukturen hinsichtlich ihrer Abmessungen und chemischer Zusammensetzung umfassend zu charakterisieren. Die Methoden Scanning Electron Microscopy (SEM) u…
nd Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM ) ermöglichen laterale Auflösungen bis unter 1 nm, so dass selbst die kleinsten Strukturen abgebildet werden können. Die im Gerät vorhandene Focused Ion Beam (FIB)-Technik wird für die Querschnittspräparation eingesetzt, so dass eine 3-dimensionale
Strukturabbildung ermöglich wird und Lamellen für STEM präpariert werden können. Die chemische Zusammensetzung der Schichten und Strukturen kann mit den ebenfalls vorhandenen Methoden Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDX) und (Time of