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Vapour-HF-Ätzsystem

Tender information

DE_BKMS

Jena, Germany

Type
goods (award)
Procedure
Open
Ref. number
559e54fb-4eea-4747-b7b4-70ac5fa83e00
CPV
38000000

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena plant die Anschaffung eines Vapour-HF-Ätzsystems zur Freistellung höchstempfindlicher photonischer Kristalle, die an Siliziumfäden mit kleinster, aber wohldefinierter Federkonstant

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